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Laboratorio de Películas Delgadas y Vacío

Objetivos

El Laboratorio de Peliculas Delgadas y Vacío (LPDyV) del DI-CU en el IA UNAM realiza diversas labores tales como:

  

Infraestructura

El LPDyV cuenta con un área de 70 m2 y posee equipos adecuados para la preparación de muestras, inspección, deposición y ataque por plasma de películas delgadas, así como para la validación de sistemas de vacío criogénicos.

Para garantizar el cumplimiento de la norma ISO 9211 se cuenta con un sistema de aire acondicionado filtrado que permite el control de humedad y temperatura, un procedimiento de limpieza estricto para controlar el número de partículas ambientales, asi como la indumentaria adecuada para realizar las actividades antes mencionadas.

Siguiendo como guía la calsificacion de cuartos limpios, la cual mide el número de partículas de 0.5 µm de diámetro por metro cúbico el LPDyV es ISO 7 o Clase 10,000, y cuenta con una zona (debajo de la campana de flujo laminar) ISO 3 o Clase 1.

 

LPDyV

 Laborarorio de Películas Delgadas y Vacío

 

Algunos de los equipos con los que se cuenta son:

 

ESPUT 

             Equipo de Sputtering

PlasmaEtching 

        Plasma Etching

   

HornoAtmosferaControlada

             Horno de Atmósfera controlada

BombaCriogenica

Bomba Criogenica y Compresor de He

  

 SPA

   Sistema de Pruebas y Análisis (SPA)

 Desionizador H2O

 Desionizador de H2O

 

CampanaExtraccion

      Campana de Extracción

CampanaFlujoLaminar

   Campana de Flujo Laminar

 

CierraBajaVelocidad

  Cierra de Baja Velocidad

TinaUltrasonica

Tina Ultrasónica

 

 

Espectrofotmetro

             Espectrofotómetro

 

     ContadorParticulas

Contador de Partículas 

 

Ejemplos de las actividades que se realizan en el LPDyV

 

 Preparacion DepPreparacion Dep 2Preparacion Dep 5

 

 

 En las imágenes se muestran los contenedores de LN2 de los crióstatos de pruebas (a la izquierda COLIBRI, a la derecha FCTF) del proyecto FRIDA. 

Val CLN2 pa sistema Vacio crioVal CLN2 pa sistema Vacio crio 2

  

 

 En las imágenes se muestran a los crióstatos de pruebas COLIBRI y FCTF del proyecto FRIDA.

 Val Colibri y FCTF

 

 Corte de vidrio     Integracion sistema Vacio crio 1     Val Componentes para vacio

   


 

 

JEFE DEL LABORATORIO DE PELICULAS DELGADAS Y VACIO

M. en C. Carolina Keiman                         Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo.


 

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